張陸滿名譽教授簡歷
張陸滿教授在1971年畢業於成大土木系,從1974年到1977年間,張教授在台灣矽谷—新竹—負責工業技術研究院頭重埔中興院區之規劃監造,及協助該院電子工業研究所設計建造了台灣第一座積體電路示範廠房(Integrated Circuit Demonstration Plant) ,而後,他即赴美國德州大學奧斯汀分校(University of Texas at Austin) 深造並取得營建工程及計畫管理碩博士學位。
於1983至1985年間,張教授在美國佛羅里達大學(University of Florida at Gainesville)的建築學院營建系任教。從1986年起,張教授轉到普渡大學(Purdue University at West Lafayette) 之土木工程系營建工程管理組任教。
在2006年的秋季班開始,張教授返回台灣在台灣大學土木工程學系繼續從事教學研究,並於2016年8月從台大榮譽退休。目前張教授仍在台大氣候天氣災害研究中心主持永續發展研究計畫,並擔任台大土木系高科技廠房設施研究中心主任暨兼任教授。
張教授目前的研究興趣是在低於3奈米半導體晶圓製造,廠房設施所需的污染監控及振動減降(微振動和電磁干擾)之關鍵技術,應用3D廠房資訊模擬來規劃與管控工程專案時程 (4D)以及運用人工智慧(AI) 提昇營建生產力。
張教授最近十年教過下列課程:高科技廠房設施設計、高科技廠務系統設計實驗、高科技廠房設施營建管理、營建工程規劃及時程管控、營建專案管理,營建公司經營與財務管理,以及營建生產力改進。
高科技半導體廠之興建營運及特質
積體電路(Integrated Circuit, IC)產業係高附加價值之尖端高科技產業,台灣自1970年代引進積體電路產業以來,不但運用積體電路數位化之技術提昇競爭力,促使各項產業升級,帶動地方之經濟發展,同時,也憑此擁有許多卓越科技的國際地位及綠色矽島(Green Silicon Island)之美譽。
而,半導體(Semiconductor) 是建構積體電路之基本核心組件,新近在台灣如火如荼發展的半導體製造産業,預計今年進入3奈米製程之量產,不久則要邁入1~2奈米製程層次的世代。 如何應用廠房設施工程之科技,去配合晶圓所需之廠房設施的建造,如何克服,因進入更精細的製程衍生出來的汙染、振動、環境、生態,節能減碳等問題是刻不容緩的課題。
衆所周知,要生產必先有廠房設施,廠房設施之設計、建造、驗證、完成及轉移使用,是半導體研發製造提昇中一個不可或缺的先決條件。但,要提昇台灣半導體製程技術到更先進精緻的層次,製程技術需要經由研發來提升,廠房設施之研發和相關實驗室的興建亦應積極合,不可等閒視之,必須未雨綢繆,跨領域之多方配合,加速推進。
本演講首先將對高科技、數位化、半導體、積體電路給予定義,並講解半導體製造之關鍵過程及其含義,隨後,將以半導體晶圓廠興建營運為例,說明高科技之主要系統和相關設施及分析其特質。